氢氟酸的蚀刻性能
作者：admin 发布日期：2019-07-05 02:54:14 浏览次数：2479
美国AT&T公司的Hanson利用有机物对蚀刻速度的影响，通过30%丙烯乙二醇、2~7M氟化铵、1~9M氢氟酸等物质，可以把蚀刻的速度从0.75um/min降低到0.25um/min，还可通过调节有机物的种类和浓度来调节蚀刻速度。工作温度在16~22℃，对SI或陶瓷衬底没有影响。日本电装株式会社的井野功治利用EDTA类化合物的缓蚀作用来对蚀刻液进行调节。由于ＥＤＴＡ的存在，可以在表面形成有效的薄膜，能达到平缓的蚀刻速度，该蚀刻液工作在常温下。美国Rolls-Royce的Broughton利用硫酸和硅氢氟酸的联合作用有效控制过快的蚀刻，工作温度为室温。两种蚀刻液的蚀刻均匀性都很好，用于电子 封装工艺中，以降低蚀刻速度来提高产品的表面特性。
- 没有了！
- 氢氟酸的提纯
电话咨询
在线留言