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氢氟酸的蚀刻性能

文章出处:晴轩化工    发布时间:2019-07-05     点击数:   

美国AT&T公司的Hanson利用有机物对蚀刻速度的影响,通过30%丙烯乙二醇、2~7M氟化铵、1~9M氢氟酸等物质,可以把蚀刻的速度从0.75um/min降低到0.25um/min,还可通过调节有机物的种类和浓度来调节蚀刻速度。工作温度在16~22℃,对SI或陶瓷衬底没有影响。日本电装株式会社的井野功治利用EDTA类化合物的缓蚀作用来对蚀刻液进行调节。由于EDTA的存在,可以在表面形成有效的薄膜,能达到平缓的蚀刻速度,该蚀刻液工作在常温下。美国Rolls-Royce的Broughton利用硫酸和硅氢氟酸的联合作用有效控制过快的蚀刻,工作温度为室温。两种蚀刻液的蚀刻均匀性都很好,用于电子 封装工艺中,以降低蚀刻速度来提高产品的表面特性。
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